【焦点热闻】当日快讯：晶瑞电材：目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中

来源：华南科技网时间：2023-05-08 21:56:58

(资料图)

晶瑞电材5月8日公告，9万吨硫酸产能方面，一期3万吨已经投产，并向部分12英寸核心半导体厂商进行供应，二期6万吨预计将于今年建成。

公司i线光刻胶已向中芯国际、合肥长鑫等国内的知名大尺寸半导体厂商供货；KrF光刻胶生产及测试线已经建成，且KrF光刻胶部分品种已于2022年开始量产，今年将发力拓展新客户；公司于2020年启动了集成电路制造用高端光刻胶研发项目，并于2020年下半年购买了ASML1900Gi型光刻机及配套设备，目前ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中。

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